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IPM半导体中度严苛系列

用途：

Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant



特点：

绿色制造、全新系列干式真空泵
体积小、耗功低、大幅度降低成本
用于中度严苛制程的节能泵

IPM半导体中度严苛系列
用途：

Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant



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绿色制造、全新系列干式真空泵
体积小、耗功低、大幅度降低成本
用于中度严苛制程的节能泵
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